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  • 產(chǎn)品描述
    • 商品名稱: 氧化亞硅連續(xù)氣相沉積真空爐

    應(yīng)用領(lǐng)域:

    氧化亞硅連續(xù)量產(chǎn)

    工藝描述:

    連續(xù)進(jìn)料、出料,硅及二氧化硅歸中 反應(yīng)、氣相沉積提純,自動研磨刮料、 爐外收集。

    型 號

    裝料尺寸

    裝載量

    工作溫度

    極限溫度

    真空度

    總功率

    氣氛類別

    工藝時長

    設(shè)備重量

    MGB140-130VH

    Φ 1400X1300

    2.0M3

    1350℃

    1600℃

    0.5-2.5Pa

    500KW

    Ar/N2

    連續(xù),單爐   24H

    28T

關(guān)鍵詞:

產(chǎn)品咨詢

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